超纯水制备工艺涉及三大步骤：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。其中文名称为超纯水制备，电导率需低于20uS/cm，电阻率应高于10MΩ·cm。设备包括原水泵、高压泵以及活性炭过滤器等。水压差应控制在小于0.1MPa的范围内。
在生产操作中，首先需要检查整个设备是否有异象，并确保各连接管之间封闭无漏洞。在设备检查完毕后，打开原水阀并开启总电源，然后逐步启动原水泵和高压泵。在监控运行过程中，要观察每个过滤设备的进出口水压力，以确保所有部位的压力差均在合适范围内。此外，还需控制RO进出流量以及产出的电导率以保证最终产品质量。
装用超纯水时，应开启增压泵并打开第一个出水阀，同时注意混床进出及精密过滤器的压力控制，以保障出流电阻率达到要求。当使用完毕后，要关闭总电源、原水入射阀及超纯出射阀，以防止自来水或空气倒流损害系统。
超纯水制备的基础理念是通过多阶段处理来实现，其关键环节包括初级吸附过滤（蜂房、活性炭、稠密活性炭与保安过滤器）。每个环节都有其特定的功能，如去除悬浮物或氯气，以及进一步提高最终产品的清洁度。
