超纯水的制造过程，分为三大步骤：初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换。中文名称是超纯水制备，其电导率低于20微西摩耳/cm，电阻率高于10兆欧姆·厘米。
设备包括原水泵、高压泵以及活性炭过滤器等。需要在操作时检查设备是否完好，每个连接处是否密封，以防止泄漏。在确保所有准备工作后，打开自来水阀，并逐步启动各个设备，以监控其运行情况。每个过滤器进出口的压力差应小于0.1兆帕斯卡，同时需控制RO系统中的流量和压力，以保持产出的超纯水质量。
在使用完成后，关闭总电源并关掉原水进口和超纯水出口，以防止空气或自来水倒流损坏设备。此外，还需注意存放的超纯水不应抽干，因为这可能会影响混床树脂的寿命。
关于超纯水制备的原理，它可以被概括为三个阶段：蜂房过滤、活性炭过滤、压缩活性炭过滤以及最后一个保安过滤器。这四种不同类型的过滤器负责去除不同的污染物，比如凝聚胶体、大分子有机物及其他悬浮颗粒。通过这些层次性的清洗，可以确保最终产品达到极高标准，即电导率小于20uS/cm，以及电阻率大于10MΩ·cm。
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