超纯水的制造过程分为三个关键阶段：初步吸附过滤、反渗透净化和离子交换。中文名称为超纯水，电导率低于20微西莫斯/cm，电阻率高于10毛欧·厘米。
设备包括原水泵、高压泵、活性炭过滤器等。操作时需注意设备检查，无漏露现象，每个连接处封闭完整。在开启原水源后逐步启动各部机器，观察运行情况，如有异常立即停止。此外，还需监控每个过滤设备进出口的压力差值，使其保持在0.1兆帕斯卡以内，同时调整流量以控制产出的电导率。装备完毕后关闭增压泵，并打开出水阀，但必须严格控制混床及精密过滤器的压力，以确保出水的电阻率达到要求。
使用完成后要关掉总电源和进出流路，以防倒流损害设备。在整个制备过程中，要注意观察存储池中的液体水平，不得抽空，以免影响树脂寿命。而当使用完毕时，要确保存储液体不超过浮漂线以上。
超纯水制备原理涉及多个环节：
初步吸附过滤包括蜂房、活性炭、压缩活性炭以及保安过滤。
蜂房主要去除大于10微米颗粒。
活性炭通过自身强大的吸附能力去除余氯气和小分子有机物。
压缩活性炭进一步深度去除这些杂质，为反渗透提供清洁环境。
保安最后一步去除大于5微米颗粒，确保最终产品质量。
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