超纯水的制造之道，分为三个关键步骤：初步净化、精密过滤和离子交换。这个过程产生的水，其电导率低于20微西门子每厘米（uS/cm），而其电阻率则高达10兆欧姆·厘米（MΩ·cm）。设备包括原水泵、高压泵以及活性炭过滤器等。整个操作需要在确保所有连接处封闭无漏的情况下进行，以防止任何损失。在开始时，需检查设备是否正常运行，并观察各个过滤环节的压力差，确保不超过0.1兆帕斯卡（MPa）。此外，还需控制RO系统中的流量和压力，以保持出水的质量。
在使用超纯水时，应打开增压泵并打开第一个出水阀，同时注意监控混床和精密过滤器的压力，以确保出水达到要求。此外，要防止存放时间过长影响混床树脂寿命，因此必须控制储罐中的液体水平，不得溢出。当用完后，应关闭总电源、原水进口阀及超纯水出口阀，以避免自来水或空气进入系统破坏设备。
至于超纯水制备的科学根基，它可以追溯到三大阶段：初级吸附净化、反渗透处理和离子交换循环。其中：
初级吸附净化阶段主要包括蜂房过滤器、活性炭过滤器、压缩活性炭过滤器和保安过滤器。
蜂房过滤器负责去除粒径大于10微米的小颗粒物。
活性炭通过其强大的吸附能力去除余氯与小分子的有机物质。
压缩活性炭进一步提高了清洁度，为接下来的反渗透处理做准备。
保安過濾機則是最後一步，用以去除剩餘的大於5微米的小颗粒物質。
反渗透处理阶段利用半透膜技术对污染物进行截留，从而达到更高标准。
离子交换循环则用于调整溶液中正负离子的比例，使其更加稳定。
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